Laserele cu excimer

Laserele cu excimer sunt lasere cu gaz cu impulsuri care emit de obicei lumină ultravioletă cu puteri medii cuprinse între câțiva wați și sute de wați, rate de repetiție a impulsurilor de până la câțiva kilohertzi și energii ale impulsurilor de la câțiva milijouli la sute de milijouli. Eficiența energetică variază între 0,2% și 2%.

Într-un laser excimer, o descărcare de gaz în impulsuri produce molecule excitate cu o stare fundamentală electronică nelegată. Aceasta înseamnă că aceste molecule se disociază după emisia spontană sau stimulată, astfel încât reabsorbția radiației nu este posibilă. Moleculele tipice sunt prezentate în tabel. (Cele mai multe dintre ele sunt asimetrice și, prin urmare, precis vorbind, nu sunt excimeri = dimeri excitați).

Durata de viață a unui laser excimer poate fi limitată de procesele de coroziune, contaminarea cu gaze și praful creat de descărcarea electrică, în afară de problemele legate de componentele electronice de înaltă tensiune. Cu toate acestea, eforturile inginerești depuse de-a lungul mai multor ani au crescut substanțial durata de viață a dispozitivelor.

Aplicațiile laserului excimer sunt multiple, incluzând fotolitografia pentru cipuri semiconductoare, ablația cu laser, depunerea laserului pulsat, marcarea cu laser, microstructurarea mediilor transparente, fabricarea rețelelor Bragg din fibre, chirurgia oculară, tratamentul psoriazisului și pomparea laserului cu colorant.

Proprietăți ale laserelor excimer

.