Ce este elipsometria?

Acest tutorial oferit de J. A. Woollam este o introducere în elipsometrie pentru oricine este interesat să afle mai multe despre elipsometrie și aplicațiile sale. Acest tutorial este scris cu gândul la începători, dar utilizatorii experimentați de elipsometrie vor beneficia, de asemenea, de informațiile prezentate în această discuție.

Ce este elipsometria?

Elipsometria măsoară o schimbare în polarizare pe măsură ce lumina se reflectă sau se transmite dintr-o structură materială. Schimbarea polarizării este reprezentată ca un raport de amplitudine, Ψ, și diferența de fază, Δ. Răspunsul măsurat depinde de proprietățile optice și de grosimea materialelor individuale. Astfel, elipsometria este utilizată în principal pentru a determina grosimea filmului și constantele optice. Cu toate acestea, se aplică, de asemenea, pentru a caracteriza compoziția, cristalinitatea, rugozitatea, concentrația de dopaj și alte proprietăți ale materialului asociate cu o modificare a răspunsului optic.

Din anii 1960, pe măsură ce elipsometria s-a dezvoltat pentru a oferi sensibilitatea necesară pentru a măsura straturile la scară nanometrică utilizate în microelectronică, interesul pentru elipsometrie a crescut constant. În prezent, gama aplicațiilor sale s-a extins la cercetarea de bază în științele fizice, la soluțiile de stocare a semiconductorilor și a datelor, la afișajele cu ecran plat, la comunicații, la biosenzori și la industriile de acoperire optică. Această utilizare pe scară largă se explică prin dependența crescută de filmele subțiri în multe domenii și prin flexibilitatea elipsometriei de a măsura majoritatea tipurilor de materiale: dielectrici, semiconductori, metale, supraconductori, materiale organice, acoperiri biologice și materiale compozite.

Acest tutorial oferă o descriere fundamentală a măsurătorilor elipsometrice, împreună cu procedurile tipice de analiză a datelor. De asemenea, sunt trecute în revistă aplicațiile primare ale elipsometriei.

.