Lasers de excímeros

Lasers de excímeros são lasers de gás pulsado que normalmente emitem luz ultravioleta com potências médias entre vários watts e centenas de watts, taxas de repetição de pulso até alguns kilohertz, e energias de pulso de alguns millijoules a centenas de millijoules. A eficiência de potência varia entre 0,2% e 2%.

Num laser excimer, uma descarga de gás pulsado produz moléculas excitadas com um estado de terra electrónico não vinculativo. Isto significa que estas moléculas se dissociam após emissão espontânea ou estimulada, de modo que a reabsorção da radiação não é possível. As moléculas típicas são mostradas na tabela. (A maioria delas são assimétricas e, portanto, precisamente falando, não excimers = dímeros excitados).

A vida útil de um laser de excímeros pode ser limitada por processos de corrosão, contaminação por gás, e poeira criada pela descarga elétrica, além de problemas com a eletrônica de alta voltagem. Contudo, os esforços de engenharia ao longo de muitos anos têm aumentado substancialmente a vida útil dos dispositivos.

Excimer aplicações laser são múltiplas, incluindo fotolitografia para chips semicondutores, ablação a laser, deposição de laser pulsado, marcação a laser, microestruturação de meios transparentes, fabricação de grades de Bragg de fibra, cirurgia ocular, tratamento de psoríase e bombeamento de lasers de corante.

Propriedades de Lasers Excimer