Lasery ekscymerowe

Lasery ekscymerowe są impulsowymi laserami gazowymi, które zazwyczaj emitują światło ultrafioletowe o średniej mocy od kilku do kilkuset watów, częstotliwości powtarzania impulsów do kilku kiloherców i energiach impulsów od kilku milijuszy do setek milijuszy. Sprawność energetyczna waha się między 0,2% a 2%.

W laserze ekscymerowym, impulsowe wyładowanie gazowe wytwarza wzbudzone cząsteczki z niewiążącym elektronowym stanem podstawowym. Oznacza to, że cząsteczki te po emisji spontanicznej lub stymulowanej ulegają dysocjacji, tak że ponowna absorpcja promieniowania nie jest możliwa. Typowe cząsteczki są pokazane w tabeli. (Większość z nich jest asymetryczna i dlatego, dokładnie mówiąc, nie są ekscymerami = dimerami wzbudzonymi).

Czas eksploatacji lasera ekscymerowego może być ograniczony przez procesy korozyjne, zanieczyszczenia gazowe i pył powstający podczas wyładowań elektrycznych, oprócz problemów z elektroniką wysokiego napięcia. Jednakże, wysiłki inżynieryjne podejmowane przez wiele lat znacznie wydłużyły czas życia urządzenia.

Zastosowania lasera ekscymerowego są wielorakie, włączając fotolitografię dla układów półprzewodnikowych, ablację laserową, osadzanie laserem impulsowym, znakowanie laserowe, mikrostrukturę przezroczystych mediów, wytwarzanie siatek Bragga we włóknach, chirurgię oka, leczenie łuszczycy i pompowanie laserem barwnikowym.

Właściwości laserów ekscymerowych

.