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固形粒純フッ素ガス発生剤であって、以下のものを含む。 熱力学的に不安定な高酸化状態の遷移金属フッ化物から誘導されたアニオンを含む安定塩；および前記遷移金属フッ化物よりも強く、周囲温度で安定して固体であるが、周囲温度より適度に高い温度で融解または昇華する少なくとも1つのルイス酸。 熱力学的に不安定な高酸化状態の遷移金属フッ化物から誘導されたアニオンを含む安定塩を混合するステップと、前記遷移金属フッ化物よりも強く、周囲温度で安定に固体であるが、周囲温度より適度に高い温度で溶融または昇華する少なくとも一つのルイス酸を含む固体粒子の純粋なフッ素ガス発生装置。 純粋なフッ素を生成する方法であって、以下のステップを含む方法。 熱力学的に不安定な高酸化状態の遷移金属フッ化物から誘導されたアニオンを含む安定塩をルイス酸と混合し、ここで、前記ルイス酸は前記遷移金属フッ化物よりも強く、周囲より適度に高い温度で融解または昇華し、前記混合物の温度を前記ルイス酸の融解温度または昇華温度に到達させるステップと 前記融解または昇華したルイス酸を、熱力学的に不安定な高酸化状態の遷移金属フッ化物に由来するアニオンを含む前記安定塩と反応させ、低酸化状態のフッ化物と純粋なフッ素に分解する熱力学的に不安定な高酸化状態の遷移金属フッ化物を生成させること。