I laser a eccimeri

I laser a eccimeri sono laser a gas pulsati che tipicamente emettono luce ultravioletta con potenze medie tra diversi watt e centinaia di watt, velocità di ripetizione degli impulsi fino a qualche kilohertz, ed energie degli impulsi da pochi millijoule a centinaia di millijoule. L’efficienza della potenza varia tra lo 0,2% e il 2%.

In un laser a eccimeri, una scarica di gas pulsata produce molecole eccitate con uno stato di terra elettronico non vincolante. Ciò significa che queste molecole si dissociano dopo l’emissione spontanea o stimolata, in modo che il riassorbimento della radiazione non sia possibile. Le molecole tipiche sono mostrate nella tabella. (La maggior parte di esse sono asimmetriche e quindi, appunto, non eccimeri = dimeri eccitati).

La durata di un laser ad eccimeri può essere limitata da processi di corrosione, contaminazione di gas e polvere creata dalla scarica elettrica, oltre a problemi con l’elettronica ad alta tensione. Tuttavia, gli sforzi di ingegneria nel corso di molti anni hanno sostanzialmente aumentato la durata del dispositivo.

Le applicazioni del laser a eccimeri sono molteplici, tra cui la fotolitografia per chip di semiconduttori, l’ablazione laser, la deposizione laser pulsata, la marcatura laser, la microstrutturazione di supporti trasparenti, la fabbricazione di reticoli di Bragg in fibra, la chirurgia oculare, il trattamento della psoriasi e il pompaggio di dye-laser.

Proprietà dei laser ad eccimeri