Che cos’è l’Ellipsometria?

Questo tutorial fornito da J. A. Woollam è un’introduzione all’ellissometria per chiunque sia interessato a saperne di più sull’ellissometria e le sue applicazioni. Questo tutorial è scritto pensando ai principianti, ma anche gli utenti esperti di ellissometria potranno beneficiare delle informazioni presentate in questa discussione.

Che cos’è l’elissometria?

L’elissometria misura un cambiamento di polarizzazione quando la luce riflette o trasmette da una struttura materiale. Il cambiamento di polarizzazione è rappresentato come un rapporto di ampiezza, Ψ, e la differenza di fase, Δ. La risposta misurata dipende dalle proprietà ottiche e dallo spessore dei singoli materiali. Quindi, l’ellissometria è usata principalmente per determinare lo spessore del film e le costanti ottiche. Tuttavia, viene anche applicata per caratterizzare la composizione, la cristallinità, la rugosità, la concentrazione di drogaggio e altre proprietà del materiale associate a un cambiamento nella risposta ottica.

Dagli anni ’60, quando l’ellissometria si è sviluppata per fornire la sensibilità necessaria per misurare gli strati su scala nanometrica utilizzati nella microelettronica, l’interesse per l’ellissometria è cresciuto costantemente. Oggi, la gamma delle sue applicazioni si è estesa alla ricerca di base nelle scienze fisiche, ai semiconduttori e alle soluzioni di archiviazione dati, ai display a schermo piatto, alle comunicazioni, ai biosensori e alle industrie di rivestimento ottico. Questo uso diffuso si spiega con la crescente dipendenza dai film sottili in molte aree e la flessibilità dell’ellissometria per misurare la maggior parte dei tipi di materiali: dielettrici, semiconduttori, metalli, superconduttori, organici, rivestimenti biologici e compositi di materiali.

Questo tutorial fornisce una descrizione fondamentale delle misure di ellissometria insieme alle tipiche procedure di analisi dei dati. Vengono anche esaminate le principali applicazioni dell’ellissometria.

Il tutorial fornisce una descrizione fondamentale delle misure di ellissometria insieme alle procedure tipiche di analisi dei dati.