Excimer lézerek

Az excimer lézerek olyan impulzusos gázlézerek, amelyek jellemzően ultraibolya fényt bocsátanak ki néhány watt és több száz watt közötti átlagos teljesítménnyel, néhány kilohertzig terjedő impulzusismétlési frekvenciával és néhány millijoule-tól több száz millijoule-ig terjedő impulzusenergiával. A teljesítményhatásfok 0,2% és 2% között változik.

Az excimer lézerben egy impulzusos gázkisülés gerjesztett molekulákat hoz létre nem kötő elektron alapállapotban. Ez azt jelenti, hogy ezek a molekulák a spontán vagy stimulált emisszió után disszociálnak, így a sugárzás visszavétele nem lehetséges. A táblázatban tipikus molekulákat mutatunk be. (A legtöbbjük aszimmetrikus, tehát pontosan szólva nem excimerek = gerjesztett dimerek.)

Az excimer lézer élettartamát a korróziós folyamatok korlátozhatják, gázszennyezés és az elektromos kisülés által keltett por, a nagyfeszültségű elektronikával kapcsolatos problémákon kívül. Az évek óta tartó mérnöki erőfeszítések azonban jelentősen megnövelték a készülék élettartamát.

Az excimer lézer alkalmazása sokrétű, beleértve a félvezető chipek fotolitográfiáját, a lézerablációt, az impulzuslézeres lerakódást, a lézeres jelölést, az átlátszó közegek mikroszerkezetének kialakítását, a szálas Bragg-rácsok gyártását, a szemsebészetet, a pikkelysömör kezelését és a festéklézeres pumpálást.

Az excimer lézerek tulajdonságai

.