Excimerlasere

Excimerlasere er pulserende gaslasere, der typisk udsender ultraviolet lys med en gennemsnitlig effekt på mellem flere watt og flere hundrede watt, pulsrepetitionshastigheder på op til et par kilohertz og pulsenergier på nogle få millijoules til flere hundrede millijoules. Strømvirkningsgraden varierer mellem 0,2 % og 2 %.

I en excimerlaser frembringer en pulserende gasudladning exciterede molekyler med en ikke-bindende elektronisk grundtilstand. Det betyder, at disse molekyler disassocierer efter spontan eller stimuleret emission, således at reabsorption af strålingen ikke er mulig. Typiske molekyler er vist i tabellen. (De fleste af dem er asymmetriske og dermed, præcist talt, ikke excimere = exciterede dimere).

Livstiden for en excimerlaser kan være begrænset af korrosionsprocesser, gasforurening og støv skabt af den elektriske udladning, bortset fra problemer med højspændingselektronikken. Ingeniørmæssige bestræbelser gennem mange år har imidlertid øget apparatets levetid betydeligt.

Excimerlaseranvendelserne er mangfoldige, herunder fotolitografi til halvlederchips, laserablation, pulserende laseraflejring, lasermærkning, mikrostrukturering af gennemsigtige medier, fremstilling af fiber Bragg-gitter, øjenkirurgi, psoriasisbehandling og farvestoflaserpumpning.

Egenskaber ved excimerlasere