Excimerové lasery

Excimerové lasery jsou pulzní plynové lasery, které obvykle vyzařují ultrafialové světlo s průměrným výkonem od několika wattů do stovek wattů, opakovací frekvencí pulzů až několik kilohertzů a energií pulzů od několika milijoulů do stovek milijoulů. Účinnost se pohybuje mezi 0,2 % a 2 %.

V excimerovém laseru vytváří pulzní výboj v plynu excitované molekuly s nevázaným základním elektronickým stavem. To znamená, že tyto molekuly se po spontánní nebo stimulované emisi disociují, takže zpětná absorpce záření není možná. Typické molekuly jsou uvedeny v tabulce. (Většina z nich je asymetrická, a tedy, přesně řečeno, nejde o excimery = excitované dimery).

Životnost excimerového laseru může být omezena korozními procesy, kontaminací plynem a prachem vznikajícím při elektrickém výboji, kromě problémů s vysokonapěťovou elektronikou. Díky dlouholetému inženýrskému úsilí se však životnost zařízení podstatně prodloužila.

Použití excimerového laseru je rozmanité, včetně fotolitografie pro polovodičové čipy, laserové ablace, pulzní laserové depozice, laserového značení, mikrostrukturování průhledných médií, výroby vláknových Braggových mřížek, oční chirurgie, léčby lupénky a čerpání barvivem.

Vlastnosti excimerových laserů

.